碳氫超聲波清洗機按照工件搬運的自動化程度可分為全自動、半自動和手動；按照清洗槽的數量可分為單槽機、雙槽機、多槽機等；按照清洗工件體積可分為大型機、中型機和小型機；按照蒸餾裝置與清洗裝置的結合方式可分為一體式和分離式，按照清洗對象還有電鍍、熱處理、卷材清洗機。根據真空清洗干燥機各部分的作用，可分為清洗系統、干燥系統、蒸餾再生系統、輸送系統、控制系統、安全輔助裝置幾部分。近些經過國內生產廠家經過多年的研究開發，使真空清洗干燥機的技術水平逐步提高，功能不斷完善，洗凈力大幅度提高、成本進一步下降、可以滿足更多客戶的清洗要求，從而使碳氫清洗技術日臻成熟，被越來越多的客戶所認同，在替代ODS和有害清洗溶劑中發揮了巨大作用。

碳氫超聲波清洗機主要由超聲波發生器，超聲波換能器，清洗槽，真空干燥系統，蒸餾回收槽，循環過濾系統，分水系統，自動控溫加熱系統，地盤及機架，進出料輸送系統，輕型多臂機械手，抽排系統，全封閉外罩，觀察窗和控制系統組成。

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